平面研削盤の主な構造的特徴

1) 高剛性・高安定性ベッド
ベッドは全面御影石構造を採用。花崗岩は、高い減衰、小さな振動、優れた熱安定性の特性により、装置の高い剛性と高い安定性を保証できます。 研削盤 .
2) 作業台
作業台は全面御影石構造を採用。従来の密閉静圧ガイドレールをベースに、高剛性・高精度の大平面密閉静圧ガイドレールを開発し、大ストロークで安定・確実なテーブルの往復運動を実現しました。テーブルは SIEMENS リニアモーターによって駆動されます。同時に、リニアモーターの動作がテーブル表面に影響を及ぼさないように、独立した静圧ガイドレールをリニアモーター専用に設計しました。テーブルトップの動作状態はハイデンハインエンコーダシステムの閉ループによって制御され、テーブルが高精度かつ高速応答の動作特性を持つことが保証されます。
3) ポスト、スライド、ビーム
熱による機械の変形を抑えることができます。柱と梁は御影石で作られています。砥石の水平移動台は固定ビーム上に設置され、砥石枠を搭載した垂直移動台車は水平移動台上に設置されています。横方向の変位と縦方向の移動は、高精度ボールネジを直接駆動する SIEMENS サーボモーターと、ハイデンハインのエンコーダー位置フィードバックによって行われます。横移動スライドと垂直移動台車のガイドレールも静圧ガイドレールを使用しています。また、上下動キャリッジには微小送り機構を搭載しており、ホイールキャリアの微小送り0.1μmを実現できます。車輪台車の自重や横変位によるビームの変形を軽減するため、ビームの直上にアンロード装置（アンロードビーム）を設置しています。これはホイール キャリッジ スライドの重量の大部分を支えるために使用され、アンロード装置とホイールの横移動スライド キャリッジの動きはハイデンハイン グレーティングの位置フィードバックを通じて同期され、それによって研削プロセスに対するビームの変形の影響が最小限に抑えられます。
4) 砥石枠
砥石の高剛性・高精度回転運動を実現するために、高速・高剛性・高精度砥石静止スピンドルシステムを開発しました。砥石軸は静圧軸受によって支持され、SIEMENS内蔵スピンドルモーター、冷却液を使用してスピンドルモーターを強制冷却し、砥石スピンドルには砥石バランシング装置が装備されており、サポート管理制御プログラムはサイクル内の砥石の状態を継続的に監視し、砥石の状況を即座に検出できます。アンバランス分は補填されます。
5) 測定システム
工作機械には加工精度のその場測定装置としてレーザー干渉計が搭載されています。機械テーブルの移動とキャリッジの横方向の動きの測定を通じて、レーザー干渉計のレンズはすべての加工領域をスキャンできます。工作機械が研削しているとき、測定ビームは加工範囲を超えて移動する可能性があります。
超精密大型光学ガラス平面研削盤は、国の重要な光学工学産業の主要なニーズに応えて研究開発されています。世界最先端レベルの超精密加工の基幹装置です。このプロジェクトの開発成功により、450×1200mmの光学ガラスの高精度・高効率研削が実現でき、ワークピースの平坦度は3μmに達し、その後の研削・研磨時間が大幅に短縮され、レーザー兵器や航空宇宙などの分野の超精密加工に対応できるようになる。大型板ガラスの大規模需要は、中国の天文学、国家重点プロジェクト、軍事装備の発展にとって極めて重要であり、中国の光学・レーザー分野の製造装置の技術的進歩をさらに促進し、中核となる競争力と創造性を強化するだろう。